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  • 2008-07-15

    [AP&T静电知识]ESD和污染控制相辅相成

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    ESD和污染控制问题都被认为是影响收益和可靠性的重要因素。尽管污染长期以来被认为是影响半导体、磁盘驱动、航天、药业和医疗器械行业，现在另外的一些行业，例如自动化、食品，也开始应用污染控制。ESD控制也在应用中午到相应的增长。事实上，今天，ESD（静电放电）控制被认为是减少污染的一个广为人知的方法，产生了巨大的效益。
     
    尽管ESD和污染控制行业的有很多资深专家，这个领域还是有很多未知领域。因这两门学科之间的差异会产生很多误解。因为每门学科都有不同的规则，很多问题看上去就会变得很复杂。事实上，ESD或污染控制上的很多问题都可以有简单的办法解决。以下简述一下：

     

    1、控制洁净室内物体表面的电量对污染控制有很大帮助。因此，可以选择低摩擦电压的材料或可以接地的材料。但是，仅限这两种方法是不够的。离子风机的使用给了更多的办法。在对ESD敏感的材料和工序中可以使用离子风机来降低污染。

     

    2、在洁净室里的静电敏感材料和工序中，控制洁净室中的静电放电可以使ESD降到最小。

     

    3、在混合流的洁净室中如果没有配备风机和压缩空气源，其气流不利于离子风机的使用。因此，在混合流的洁净室中最好安装风机和压缩空气离子发生器。但是，风机和压缩空气离子发生器会让污染重新分配产生有害影响，需要将静电控制和污染控制综合考虑。

     

    4、在单向流的洁净中，将离子发生器安装在靠近天花或HEPA的地方能很好地发挥作用，特别是能控制表面污染。相对的，单向流洁净室和洁净台中的气流能引起隔离效应或气流层，隔离效应和气流层能影响离子发生器的放电时间性能。在离子发生器的安装过程中必须考虑洁净的气流影响。

     

    5、天花、卧式的离子风机可能不能提供快速的放电时间。当静电敏感设备靠近低电压时，只有少数离子发生器能够有良好的ESD性能。在这种情况下，平衡ESD失效和污染失效的要求就变得不稳定了。

     

    6、当用于需污染控制的区域时，所有的防静电材料和设备都需经过污染性能的检测。同理，用于防静电区域的所有的污染控制需要的材料和设备也需经过ESD性能的检测。

     

    7、对于污染控制和ESD控制区域，最好能使用连续监控系统。在工作台中，这些的使用能更好地进行控制以最小化工艺中的差错。

     

    在这两个方面想做改进的话，首先要理解污染和ESE控制的基本原则并定好必须达到的要求。第二要选择解决污染和ESD问题的有效的分析方法，特别在对于材料的选择上。

     

    现在有一新型的构建污染和ESD控制的工作区域的的方法，它不是传统的通过房间建筑的结构和用处方面来考虑的。新方法将焦点集中在房间的气流类型和工具、操作台对气流的影响。（如图1和图2）


     

    图1：该图显示了在水平等级地板的洁净室内生产线和过道的设计和对置于中心的气流可能的影响。

     
    图2：该图显示了在水平等级地板的洁净室内生产线和过道的设计对气流可能的影响。

    清洁工艺和设备必须考虑到供方和使用方的意见。工具的设计和验证包括材料的选择、对受污染和ESD影响的问题的评估。对污染和ESD的连续监控系统也应考虑。

    在易耗品的选择和供应上也应考虑污染和ESD控制的要求。在1960后至1970年代，很多优良的洁净材料的ESD性能却不好。现在，这已经不是问题。

    当然，在制订洁净室人员行为和纪律时，也应考虑人员产生的污染和洁净服对人员产生污染的“容纳”。在此方面以前经常忽视了这方面的工作。

    最后，整个洁净室和ESD保护区域环境的管理可以发挥作用了。
     
     

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